三次元又称三坐标，是一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触方式传送讯号，测量精度0.001mm。

三坐标测量机是基于坐标测量的通用化数字测量设备。它首先将各被测几何元素的测量转化为对这些几何元素上一些点集坐标位置的测量，在测得这些点的坐标位置后，再根据这些点的空间坐标值，经过数学运算求出其尺寸和形位误差。